微波等離子清洗機作為一款綠色無污染的高精密干法清洗設備,它可以有效去除表面污染物,避免靜電損傷。
微波等離子清洗機是用等離子體通過化學或物理作用對工件表面進行分子水平處理,去除沾污,改善表面性能的工藝過程。對應不同的污染物,應采用不同的清洗工藝。當腔內壓力為動態平衡時,利用微波源振蕩產生的高頻交變電磁場將氬氣、氧氣、 氮氣、氫氣等工藝氣體電離,生成等離子體,活性等離子體對被清洗物進行物理轟擊與化學氧化還原反應。
設備結構:
微波等離子清洗機主要是由五部分組成:分別為外殼框架系統、微波放電系統、真空系統、供氣系統和控制系統。該設備控制方式為工控機PLC,操作方式包括自動模式和手動模式,在自動模式下將不同工藝參數按照配方方式管理,可同時存儲50組不同的配方。設備設計有工作氣體耗盡報警、壓縮空氣壓力低于設定值報警、泵熱過載報警、反應倉泄露率過大報警等安全功能。
與濕法清洗相比,微波等離子清洗機的優勢主要體現在以下幾個方面:
1、清洗過程只需幾分鐘即可完成,清洗時等離子可滲透到物體細小的角落并完成清洗任務,因此清洗效率高;
2、經過等離子清洗后被清洗器件己經很干燥,無需再進行干燥處理。
3、清洗時產生的氣體及汽化的污垢被排出,在器件上無殘留物;
4、可清洗不同的基材,使用材料范圍廣;
5、節省廢物處理費用。